3.2 光线由2到3传输时误差模型
根据光线理想传播路径变换矩阵可得2到3理想传输模型为:
式中:α2为C轴旋转角度。
设光线由发出点入射到入射点会在x、y、z方向产生位置误差:△x'2、△y'2、△z'2,反射镜片位姿误差△x"2,△y"2,△z"2,△α2,△β2,△γ2
由式(1)得到入射光线偏差引起的入射点误差矩阵为:
由(11)得到:
由式(2)得到反射镜片的位姿误差引起的入射点位置误差矩阵为:
由式(3)得到由于反射镜片角度误差矩阵为:
因此误差矩阵为:
当△α,△β,△γ很小时有:
其中: