3.3 光线由3传输到4的误差模型
根据光线理想传播路径变换矩阵可得3到4理想传输模型为:
式中:α3为B轴旋转角度。
设光线由发出点入射到入射点会在x、y、z方向产生位置误差△x'3、△y'3、△z'3,反射镜片位姿误差△x"3、△y"3、△z"3、△α3、△β3、△γ3。
由式(1)得到入射光线偏差引起的入射点误差矩阵为:
由(11)得到:
由式(2)得到反射镜片的位姿误差引起的入射点位置误差矩阵为:
由式(3)得到反射镜片角度误差矩阵为:
因此误差矩阵为:
当△α,△β,△γ很小时有
其中:
反射光线误差: