精密数控技术在电真空器件中的应用

3 精密数控加工技术在电真空器件中应用发展趋势

　　随着电真空器件向着毫米波的发展和电真空器件的需求量的加大，零部件的制造加工技术则需要解决小尺寸零件的高精度加工技术难题和高精度零件的批量加工问题.精密数控加工技术适应以上需求，主要在以下几项技术上进行深人应用:

　　(1)柔性生产技术

　　由多台和多种类型的数控设备组成批量零件的多条柔性流水生产线，针对批量较大零件进行流水式高效率加工，保证每天都可以提供成品零件;同时，生产线具备快速转换产品的能力，对于多种典型零件可以随时具备加工成品的条件;而且，数控设备组成的生产线具备可靠的加工工艺技术，可以稳定零件质量.此柔性生产技术的应用，可以显著提高生产效率和产品质量。可应用于电真空器件中各类批量零件的加工。

　　(2)精密电火花加工技术

　　精密电火花加工技术包括慢走丝线切割加工和精密成型电火花加工。目前此种加工技术在电真空器件中应用已经比较广泛，解决了大量技术难题，但在微孔电火花加工、异形模具电火花加工和直径0.03 mm以下细丝线切割加工上还要进行技术的引进、开发与应用。此项技术可应用于各类精密异形零件和模具的加工。

　　(3)激光加工技术

　　激光加工是由激光器发出的激光束，对于零件进行切割加工。以前由于激光加工的切削瘤很难去处，因而不能应用于精密加工，尤其电真空器件的零件不能允许有微小的毛刺，所以激光加工技术一直未能应用于电真空器件零件的制造加工。目前，精密激光加工技术已经发展到激光束直径达0. 02mm，能量15^500 W，加工薄壁零件可以产生十分微小的毛刺，能够适用于各种薄壁件的加工。通过技术开发与应用，可以应用于加工栅控行波管中的栅网，其加工效率和加工精度将大幅优于电火花加工栅网。

　　(4)高速铣削加工技术

　　加工中心在电真空器件零件的加工中已经得到广泛的应用，但是加工中心已经向着高速铣削发展，主轴转速可达60000 r/ min，适合于高效率加工和加工高精度的薄壁零件。此项技术可应用于电真空器件的腔体等各类铣削类零件，同时可以替代部分电火花加工，在保证加工精度的前提下大幅提高加工效率。

　　(5)复合加工技术

　　在数控加工技术中，发展了5轴以上的复合加工技术，可以一次装夹完成各种车削、铣削加工。此种加工可以避免二次装夹定位，实现形状复杂，精度要求很高，尤其形位公差要求非常严格的零件加工，并且具备较高的加工效率。此项加工技术可以应用于电真空器件非常复杂零件的高精度加工。

　　此外，精冲技术、高精度的挤压加工、拉拔和旋压加工技术、精密铸造技术作为适合批量高效率加工的技术手段，虽然不属于数控加工技术之列(部分技术也有数字控制系统)，也将不断地得到技术开发与应用，来保证电真空器件的零部件的制造加工.

4 结束语

　　电真空行业中，随着精密数控设备使用规模的加大，工程技术人员的不断开发，精密数控加工技术的应用将更加深人广泛，在解决零件制造加工的关键技术上，实现产品零件的技术要求、提高批量生产的效率，保证质量的一致性上发挥巨大的作用。