国家重大专项资金支持 沈阳推进IC装备产业发展

　　10月4日，来自沈阳市科技局的最新消息，沈阳富创承担的“基于焊接和表面涂覆技术的大型铝件制造技术开发”项目，得到国家“十二五”02重大专项支持，国拨经费1.4亿元。“这一技术突破，使我们在半导体装备，包括极大规模集成电路装备的零部件加工能力上达到国际领先水平。该技术还可拓展到航空、航天、航海等领域。”企业相关负责人介绍。同时，中科仪、沈阳新松也都获得千万元以上国家重大专项资金支持。

　　沈阳市科技局相关负责人介绍，沈阳将大力推进机器人、IC装备等产业发展，把沈阳打造成以机器人为核心的高端装备制造产业基地。

　　为推动机器人产业发展，沈阳将突出沈阳新松等龙头企业的研发活动，并以中科院沈阳自动化所为依托，设立新型研发实体，围绕机器人产业链开展研发、中试相关工作。另外，围绕机器人产业，鼓励一批高新技术人才创业。

　　笔者从沈阳新松了解到，2014年，沈阳新松开展了智能型工业机器人应用研究，将力控制技术和视觉技术在机器人平台上进行集成应用，开发了研磨抛光工业机器人，主要应用于卫浴五金行业;视觉分拣机器人，可广泛应用于食品等行业;精密装配机器人，可应用于家电电子等行业等，均取得了良好的市场效果。“另外，在IC装备机器人方面，我们也进行了集成传输平台的研制。”新松相关负责人说。

　　“IC装备产业方面，沈阳将在继续推动承担国家的重大专项的同时，研究如何通过风险投资、股权激励等政策措施，鼓励企业发展壮大。”市科技局相关负责人介绍。

　　在IC装备产业方面，沈阳是中国具有较高影响力、较强产业优势的城市之一，目前拥有中科院沈阳科仪、沈阳芯源、沈阳拓荆等一批优秀的IC装备企业。仅今年上半年，沈阳IC装备企业就实现产值12亿元，同比增长11.6%，实现营业收入8.7亿元，同比增长11.5%，实现利润8500万元，上缴税金1600万元。

　　沈阳荆拓公司最新研发的12英寸高产能生产型PECVD设备，不仅与华进、苏州晶方等半导体公司签订设备采购合同，而且成功进入台湾市场，企业申请专利69项，已获得授权38项。沈阳芯源公司“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”项目，截至目前该产品已实现销售43台，销售额达到5840万元，产品出口达650万美元，并向LED等领域辐射，销售额达1.08亿元。

　　下一步，沈阳市科技局将就全市机器人产业发展、技术创新制订规划，并研究相关政策措施，组织实施机器人产业重大科技专项和技术成果转化工程，开展机器人产业创新服务体系建设。设立“机器人与智能制造创新研究院”，以创新体制机制，实现科研与产业有效衔接。