探讨了在多品种小批量半导体工艺生产线上开发应用CAM技术及实现SPC控制的方法。作者及同事开发了适用于所在工艺线特点的CAM软件系统程序——WI系统，用于工艺的指导 和记录、生产的安排和监控以及数据的记录和提取。利用SPC方法对由WI提取的数据进行统计分析处理，做出控制图，对各种工艺异常进行分析判断进而做出工艺调整，以实现...
智能装备 | 半导体工艺线 计算机辅助制造(CAM) 统计过程控制(SPC) 发布时间：2011-01-29
